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详细信息 速度每秒10米快速眼镜光纤激光切割机:创恒星激光直线运动平台采用进口驱动器,控制平台稳定运行,不同的使用环境可以选用不同
类型。如光栅和磁栅,封闭式和开放式
?创恒星系列精密直线运动平台采用进口直线电机技术和生产工艺,经过10多年的使用实践,实现高
精度、推力平滑,推力可达2500N.
?主体材料为硬铝合金材质,抗腐蚀性更加优越。硬氧化表面处理使平台更加不易出现划痕。高精密加
工的平台底座采用优质铝件,经过时效和表面处理后,抗温差能力强,精度保证强。和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆,使运动的直线度和平行度有较大提高。底座有标准孔距的螺纹孔和通孔,方便安装固定。
?进口高精密编码器,重复定位精度可控制<0.002mm,直线读取速度4000mm/s,分辨率高达
0.005mm ,轴向间隙小,寿命长.重复性的更高精度,可以由编码器更高分辨率来实现
?优质进口直线导轨C预压,P精密级,从而保证直线运动行程、直线度、重复精度,承载运动平台的运
行。
?直线运动工作台呈特有的十字型结构搭建,上下轴可移动行程分别为500mm,特殊长行程或者大推力平台及龙门式直线平台,可以根据客户要求定制。
?防松和防轴窜结构,有效防止螺杆松动,轴向窜动,有效保证重复定位精度和定位精度,特别适合高速往复使用
?进口光电限位开关,触发模式NPN和PNP,反应时间短,每个轴配置:左限位1pcs;右限位1pcs;零 位1pcs,需要高重复定位,平台闭环中内置Z向信号输出,重复性±0.001mm。
精密直线运动平台运用行业及范围
直线电机的应用广泛,已经渗入到经济发展的各个领域当中,对直线电机的需求也将日益增大,应用前景非常广阔,广泛应用于民用、工业(精密切割设备和视觉检测设备)、军事等行业中。
(1) 在精密视觉检测设备中,如硅片检测过程要求其运动系统具有较高的精度,实现其中的精密直线运动对整个复合运动平台至关重要.采用直线电机驱动的方式设计了一套精密直线运动平台,阐述了其机械系统和控制系统设计过程.实验结果和实际应用表明:本平台比目前采用滚珠丝杠驱动的直线运动平台具有更高的精度、更大的加速度、运行更平稳和更长的寿命等优点,可以完成硅片检测过程要求的运动,运动精度满足了应用场合的要求.
(2)在数控加工行业中,传统的“旋转电机+滚珠丝杠”的传动形式所能达到的进给速度为30m/min,加速度仅为3m/2s。直线电机驱动工作台,速度为传统传动方式的30倍,加速度是传统传动方式的10倍,可达10g;刚度提高了7倍;直线电机直接驱动的工作台无反向工作死区;由于电机传动惯量小,由其构成的直线伺服系统可以达到较高的频率响应。此外,在压力机、坐标测量机、水切割机、等离子切割机、快速原型机及半导体设备的X-Y工作台上直线电机都有应用。
光学检测设备 晶圆检测机
性能 直线电机 旋转电机+滚珠丝杠
精度(μm/300mm) 0.5 10
重复精度(μm) 0.1 2
速度(m/s) 5 1.5
加速度(g) >10 <1
静态刚度(N/μm) 70 ~270 90 ~180
动态刚度(N/μm) 160 ~210 90 ~180
平稳性(%速度) 1 10
调整时间(ms) 10 ~20 100
寿命(h) 50000 6000 ~10000
※注:重复性的更高精度,可以由编码器更高分辨率来实现!
以下三款标准电机平台型号亦可为单轴平台;
可以根据客户要求设计各种行程电机平台。
1 ,500*500mm规格 (标准)
设备型号:CHEX-F-S-0505
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